全自动碲化铋晶粒离心清洗机采用真空吸附式清洗盘，晶元夹具的取放更安全、方便；采用二流体清洗，清洗精度高，对产品零损伤，纯水消耗量极小；旋转式喷杆，避免二次污染产品；配备静电消除装置、腔壁加热装置，辅助清洗达到佳效果；配备2级空气过滤系统，压缩空气符合ISO8573、1标准。
全自动碲化铋晶粒离心清洗机特点：
可调变速离心式
全自动製程人机界面控制
透明防爆门，作业安全确保
镜面不锈钢体封闭结构
全自动碲化铋晶粒离心清洗机全系统仪表监测，符合ISO作业
超大型Wash-Tank增加效率
前置式作业，无二次污染
平方公尺设备空间，调配方便
全自动碲化铋晶粒离心清洗机低噪音，无污染-无尘室专用设计
纯水自动加压过滤
可更换清洗吸盘，可使用4-12英寸的清洗吸盘；
操作程序可按作业需求编写调整，设备运行流程、清洗时间及各项参数可自行编制；
全自动碲化铋晶粒离心清洗机运行状态及参数在线实时监控，自动门配有安全光栅，保证操作安全；
采用真空吸附式清洗盘，晶元夹具的取放更安全、方便；
摆臂式清洗，清洗范围可编制，适用范围广、无清洗盲区、无二次污染，清洗效果更佳；
清洗室全密封，且配有自动挡水圈，有效防止二次污染；
全自动碲化铋晶粒离心清洗机高速离心设计，转速可调节100-2000R/Min；
配备独特的静电消除装置，辅助清洗达到佳效果，可选择使用氮气；
配有大面积透明观察窗；
缩减宽度的省空间设计，结构紧凑，占用空间小；
全自动碲化铋晶粒离心清洗机整机镜面不锈钢机身，能耐酸碱，对工作环境无污染，镜面机壳易于保养。
产品表面粉尘，杂质专用清洗机器；
镜面锈钢一体化封闭机身，对工作环境无污染，适合无尘车间使用要求；
可更换清洗盘清洗多种产品，清洗盘按产品定做；
PLC自动控制，操作方便快捷；
全自动碲化铋晶粒离心清洗机透明防爆前门，安全作业，便于观察；
全系统仪表显示，随时监控清洗状况；
采用二流体清洗，清洗精度高，对产品零损伤，纯水消耗量极小；
旋转式喷杆，避免二次污染产品；
配备静电消除装置、腔壁加热装置，辅助清洗达到佳效果；
全自动碲化铋晶粒离心清洗机配备2级空气过滤系统，压缩空气符合ISO8573、1标准；
机身紧凑，占用面积小；
完全使用超纯水清洗，符合RoHS标准。
全自动晶圆离心清洗机参数：大工作盘：Φ 600mm
大工件：200mm(L)×140mm(W)
清洗方式：高压冲洗+水气二流体清洗
干燥方式：高速离心脱水(离子风)
工作盘旋转数范围：0--2840 r/min
离心清洗释出压力：1.5—13.8kg
纯水过滤精度：0.1μm
空气过滤精度：0.01μm
可清洗Particle颗料小直径：≧1um98%以上
材料：整机316镜面不锈钢
清洗水供给压力：>2.0Kgf
清洗水流量设定范围：＜10.8L/min
DI供给洁净度要求：>17MΩ
洁净压缩空气供给压力：0.45—0.7mpa
洁净压缩空气洁净度要求：过滤度在0.01μm /99.5%以上超洁净压缩空气,残余油＜0.1ppm
洁净压缩空气大消耗量：高压冲洗时:N/A二流体清洗时:＜100L/min
送风管排气容量：5.0m3/min
控制方式：PLC+触摸屏
重量：480kg
电源：380V 10A 50HZ
设备尺寸：870mm(L)X1000mm(W)X1750mm(H)