碳化硅管清洗机为浸泡式清洗机，用于扩散、外延等设备的石英管，碳化硅管的清洗。
设备功能：用于石英炉管的清洗，操作员手工放入，在清洗槽内自动旋转，酸腐蚀后DIW冲洗，然后手工取出。
不锈钢骨架，白色的PP外壳，底盘采用挤出式焊接工艺，杜绝渗漏风险；
机台侧部安装有可旋转式的触摸屏；
碳化硅管清洗机PLC控制工艺过程，用户界面进行编程和监控；
工艺槽内石英炉管可做旋转运动，有一定的倾斜角度以利于排空内部液体； 清洗槽左右两端设有美国进口纯水喷枪和氮气喷枪。
碳化硅管清洗机工艺槽内石英炉管可做旋转运动，有一定的倾斜角度以利于排空内部液体；
后部的排气装置，有可调节的气闸；
EMO紧急按钮；
三色警灯；
前部和后部维修门设计；
后部自动供酸系统接口设计；
碳化硅管清洗机清洗槽左右两端设有进口纯水喷枪和氮气喷枪。
